Anlagen Demonstrator
Cluster-Anlagen werden in der Halbleiterei zur Herstellung von Mikrochips auf Wafern verwendet. Die Cluster-Anlage besteht aus mehreren Kammern, in denen verschiedene Verfahrensprozesse ablaufen — in diesem Fall die Abscheidung aus der Gasphase, genannt physical vapor deposition. Erleben Sie den Prozess in 3D-Echtzeit und erkunden Sie die Anlage.
